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今天為廣大朋友介紹的是—芯片制造行業(yè)對純凈水設備的水質要求
我公司超純水設備出水水質完全符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業(yè)部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業(yè)部高純水水質試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、日本集成電路水質標準、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質標準。
為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設計上,取達到國家自來水標準的水為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)(EDI電除鹽系統(tǒng))等。系統(tǒng)中水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使超純水設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
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